欧美日一区,二区情爱视频-少妇高潮片一区二区三区99-欧美一区二区美女在线观看-精品一区二区三区视频免费观看


產(chǎn)品目錄
新聞資訊
 
旋片式真空泵系列
2X型旋片式真空泵
X型旋片式真空泵
2XZ型旋片式真空泵
WX型無(wú)油真空泵
XD型旋片式真空泵
水環(huán)式真空泵系列
2BV型水環(huán)式真空泵
2BE型水環(huán)式真空泵
SK型水環(huán)式真空泵
SK型直聯(lián)水環(huán)式真空泵
2SK型水環(huán)式真空泵
SZ型水環(huán)式真空泵
SZB型水環(huán)式真空泵
往復(fù)式真空泵系列
W系列往復(fù)式真空泵
WLW系列無(wú)油立式真空泵
羅茨真空泵系列
ZJ系列羅茨真空泵
ZJP系列羅茨真空泵
滑閥式真空泵系列
H滑閥式真空泵
2H滑閥式真空泵
水噴射真空泵系列
RPP型水噴射真空泵
ZSB型水噴射真空泵
PSB型水噴射真空泵
QPB型水蒸汽噴射真空泵
擴(kuò)散泵系列
K型擴(kuò)散泵
KT(TK)型金屬油擴(kuò)散泵
真空機(jī)組系列
JZJX系列羅茨旋片真空機(jī)組
JZJ2B(S)系列羅茨水環(huán)真空機(jī)組
JZJS系列羅茨水環(huán)真空機(jī)組
JZJBA系列羅茨水環(huán)真空機(jī)組
JZJP型羅茨水噴射真空機(jī)組
RPP系列水噴射真空機(jī)組
JZJW系列羅茨無(wú)油往復(fù)真空機(jī)組
JZJH系列羅茨滑閥真空機(jī)組
ZKJ系列真空機(jī)組
無(wú)油干泵系列真空機(jī)組
擴(kuò)散泵系列真空機(jī)組
真空泵配件
DDC-JQ真空閥
DYC-Q真空閥
真空泵油
真空表
聯(lián)系我們
公司地址:上海市青浦區(qū)勝利路588號(hào)
銷售電話:021-51699921
公司傳真:021-33275209
公司網(wǎng)址:m.d-gokurakuji.com
公司郵箱:chinafeilu@163.com
推薦文章
真空冷凍干燥在醫(yī)行事業(yè)上的應(yīng)用

夏季中水環(huán)式真空泵真空度降低的原因

旋片式真空泵使用
飛魯水環(huán)泵的型號(hào)說明及工作原理
真空機(jī)組安裝調(diào)試的注意事項(xiàng)
直聯(lián)旋片泵的使用禁忌及保養(yǎng)方法
超高真空機(jī)組的特點(diǎn)及分類
實(shí)驗(yàn)室中常用機(jī)械泵的分類
JZJS羅茨水環(huán)真空機(jī)組在真空爐中應(yīng)用
超高真空機(jī)組的特點(diǎn)及分類
您當(dāng)前位置:真空泵-首頁(yè)--新聞資訊
本站關(guān)鍵詞:真空泵 真空機(jī)組 水環(huán)式真空泵 旋片式真空泵 羅茨水環(huán)真空機(jī)組 羅茨旋片真空機(jī)組

射頻放電離子鍍裝置



射頻放電離子鍍裝置如圖1所示。這種離子鍍的蒸發(fā)源采用電限加熱或電子束加熱。蒸發(fā)源與基體間距為20cm,在兩者中間設(shè)置高頻感應(yīng)線圈.感應(yīng)線圈一般為7匝,用直徑3mm的銅絲繞成.高7cm。射頻頻率為13.56MHz,射頻功率一般為0.5 -2kW.基體接0-2000V的負(fù)偏壓,放電的工作壓力約為10-3-10-1Pa.只有直流二極型的1%.

射頻放電離子鍍裝置

圖1:射頻放電離子鍍裝置

鍍膜室內(nèi)分成三個(gè)區(qū)域:①以蒸發(fā)源為中心的蒸發(fā)區(qū);②以感應(yīng)線圈為中心的離化區(qū);③以基體為中心的離子加速區(qū)和離子到達(dá)區(qū)。通過分別調(diào)節(jié)熱發(fā)源功率,感應(yīng)線圈的射頻激勵(lì)功率,基體偏壓等,可以對(duì)三個(gè)區(qū)域進(jìn)行獨(dú)立的控制,從而有效地控制沉積過程.改善了鍍層的物性。
射頻離子鍍除了可以制備高質(zhì)量的金屬薄膜外.還能鍍制化合物薄膜和合金薄膜。鍍化合物薄膜采用活性反應(yīng)法。在反應(yīng)離子鍍合成化合物薄膜和用多蒸發(fā)源配制合金膜時(shí).精確調(diào)節(jié)蒸發(fā)源功率.控制物料的蒸發(fā)速率是十分重要的。

在感應(yīng)線圈射頻激勵(lì)區(qū)中.電子在高頻電場(chǎng)作用下做振蕩運(yùn)動(dòng).延長(zhǎng)了電子到達(dá)陽(yáng)極的路徑.增加了電子與反應(yīng)氣體及金屬蒸氣碰掩的概率.這樣可提高放電電流密度。正是由于高頻電場(chǎng)的作用,使著火氣體壓強(qiáng)降低到10-3~10-1Pa,即叮在高真空中進(jìn)行高頻放電.因而以電子束加熱蒸發(fā)源的射頻離子鍍.不必設(shè)置差壓板。

上一篇:水噴射泵常見故障及排除方法
下一篇:真空球閥的原理及使用范圍
轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處:http://m.d-gokurakuji.com,飛魯泵業(yè)版權(quán)所有
網(wǎng)站地圖  聯(lián)系我們
 
 
上海飛魯真空泵廠有限公司 銷售部電話:021-51699921 免費(fèi)熱線:400-021-5161
 銷售部傳真:021-33275209 物流查詢:021-60530131 發(fā)票查詢:021-60530151 
 
公司地址:上海市青浦區(qū)盈港開發(fā)區(qū)勝利路588號(hào)
 
本網(wǎng)站所有圖片和資料均屬飛魯泵業(yè)科技所有,未經(jīng)同意不得轉(zhuǎn)貼  網(wǎng)站備案號(hào):滬ICP備11035286號(hào)