欧美日一区,二区情爱视频-少妇高潮片一区二区三区99-欧美一区二区美女在线观看-精品一区二区三区视频免费观看


產(chǎn)品目錄
新聞資訊
 
旋片式真空泵系列
2X型旋片式真空泵
X型旋片式真空泵
2XZ型旋片式真空泵
WX型無油真空泵
XD型旋片式真空泵
水環(huán)式真空泵系列
2BV型水環(huán)式真空泵
2BE型水環(huán)式真空泵
SK型水環(huán)式真空泵
SK型直聯(lián)水環(huán)式真空泵
2SK型水環(huán)式真空泵
SZ型水環(huán)式真空泵
SZB型水環(huán)式真空泵
往復(fù)式真空泵系列
W系列往復(fù)式真空泵
WLW系列無油立式真空泵
羅茨真空泵系列
ZJ系列羅茨真空泵
ZJP系列羅茨真空泵
滑閥式真空泵系列
H滑閥式真空泵
2H滑閥式真空泵
水噴射真空泵系列
RPP型水噴射真空泵
ZSB型水噴射真空泵
PSB型水噴射真空泵
QPB型水蒸汽噴射真空泵
擴散泵系列
K型擴散泵
KT(TK)型金屬油擴散泵
真空機組系列
JZJX系列羅茨旋片真空機組
JZJ2B(S)系列羅茨水環(huán)真空機組
JZJS系列羅茨水環(huán)真空機組
JZJBA系列羅茨水環(huán)真空機組
JZJP型羅茨水噴射真空機組
RPP系列水噴射真空機組
JZJW系列羅茨無油往復(fù)真空機組
JZJH系列羅茨滑閥真空機組
ZKJ系列真空機組
無油干泵系列真空機組
擴散泵系列真空機組
真空泵配件
DDC-JQ真空閥
DYC-Q真空閥
真空泵油
真空表
聯(lián)系我們
公司地址:上海市青浦區(qū)勝利路588號
銷售電話:021-51699921
公司傳真:021-33275209
公司網(wǎng)址:m.d-gokurakuji.com
公司郵箱:chinafeilu@163.com
推薦文章
真空冷凍干燥在醫(yī)行事業(yè)上的應(yīng)用

夏季中水環(huán)式真空泵真空度降低的原因

旋片式真空泵使用
飛魯水環(huán)泵的型號說明及工作原理
真空機組安裝調(diào)試的注意事項
直聯(lián)旋片泵的使用禁忌及保養(yǎng)方法
超高真空機組的特點及分類
實驗室中常用機械泵的分類
JZJS羅茨水環(huán)真空機組在真空爐中應(yīng)用
超高真空機組的特點及分類
您當前位置:網(wǎng)站首頁--新聞資訊

節(jié)流的高真空系統(tǒng)



濺射和其它等離子體工藝所包含的壓強范圍均高于各類高真空泵的工作壓強范圍。在泵與真空室之間加一個節(jié)流閥就可將這些泵用

在0.5至10Pa的范圍內(nèi)。這種具有小流導(dǎo)的節(jié)流閥,允許使高壓強真空室的氣體流入泵中,同時使泵的進氣口壓強保持在泵的最高壓

強或臨界進氣口壓強以下,陰極直徑為150到200mm的典型濺射室的直徑為5OOmm,高為250mm。傳統(tǒng)的抽氣機組配用一臺6in的擴散

泵,但也有使用與之相當?shù)牡蜏乇没驕u輪分子泵的,這樣大小的泵的最大排氣量為100至200Pa·L/s。泵更大,雖然價格更貴,但

排除氣體的速率也更快。

濺射系統(tǒng)的殘余氣體的問題要比高真空蒸發(fā)系統(tǒng)的大得多,這一方面由于增加了壁上雜質(zhì)的等離子體解吸,另一方面由于通常的濺

射淀積率要比典型蒸發(fā)率低得多。即使這兩種過程的產(chǎn)生率處于同一數(shù)量級,濺射薄膜的暴露在殘余氣體雜質(zhì)中的機會也比由蒸發(fā)

源凝結(jié)的薄膜的為多。電子和離子碰撞解吸是讓氣體從真空室室壁上釋放出來的有效方法,它甚至要比輕度烘烤更為有效。在等離

子體中,解吸的氣體似以原子態(tài)存在,這樣它們很容易會同濺射薄膜起反應(yīng)。

上一篇:抽氣技術(shù)
下一篇:如何獲得高真空
轉(zhuǎn)載請注明出處:http://m.d-gokurakuji.com,飛魯泵業(yè)版權(quán)所有
網(wǎng)站地圖  聯(lián)系我們
 
 
上海飛魯真空泵廠有限公司 銷售部電話:021-51699921 免費熱線:400-021-5161
 銷售部傳真:021-33275209 物流查詢:021-60530131 發(fā)票查詢:021-60530151 
 
公司地址:上海市青浦區(qū)盈港開發(fā)區(qū)勝利路588號
 
本網(wǎng)站所有圖片和資料均屬飛魯泵業(yè)科技所有,未經(jīng)同意不得轉(zhuǎn)貼  網(wǎng)站備案號:滬ICP備11035286號