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飛魯旋片式真空泵技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的制定依據(jù)



1.抽速:2X型旋片式真空泵系列抽速范圍規(guī)定為0.2-70升/秒。生產(chǎn)0.2升/秒的小泵是考慮到醫(yī)療、科學(xué)儀器配套及半導(dǎo)體元件和某些軍工的特殊需要。目前采用最大抽速為150升/秒,而不發(fā)展

更大泵的主要原因是因?yàn)橹圃焐喜贿^關(guān),有咬死現(xiàn)象。實(shí)際上需更大抽速時(shí)可用滑閥泵。
2.極限真空的確定:國內(nèi)旋片泵極限真空已達(dá)5x10-4托,國外通常為1-2x10-4托,個(gè)別的如西德泵為2x 10-5托。長期使用,真空度有所下降。特別在夏季,氣溫較高,濕度大時(shí)下降更顯著。要使泵的極限真空確能穩(wěn)定在5x10-4托,還要作一番努力,國內(nèi)很多新廠更是這樣。目前標(biāo)準(zhǔn)訂為5 x 10-4托,當(dāng)然能超過更好。

3.電動機(jī)的功率:主要考慮泵能正常.啟動即可。旋片式真空泵一般均在真空狀態(tài)下工作,其消耗功率遠(yuǎn)小于所配用的電動機(jī)功率(啟動功率)。隨著泵的結(jié)構(gòu)和泵油的枯濕特性的不斷改進(jìn),按現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)降低電動機(jī)功率完全可能。事實(shí)證明,側(cè)偏心式泵和直聯(lián)泵均已降低了。
4.振功、噪音指標(biāo)。噪音大,影響生產(chǎn)研究人員思考;振動大,不能與精密儀器配套。電子顯微鏡和鍍膜機(jī)均要求噪音和振動輕微。而國產(chǎn)泵這方面缺點(diǎn)是很明顯的。技術(shù)條件上暫訂為60分貝,對此要求改進(jìn)的單位很多,尚需努力。

5.泵的進(jìn)出氣口尺寸有統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn),便于與擴(kuò)散泵、增壓泵、羅茨泵配套。

6.泵的轉(zhuǎn)速:不少泵已設(shè)法提高轉(zhuǎn)速,抽速都有不同程度的提高,極限真空也有遞升的趨勢。故提高轉(zhuǎn)速特別是中、小型泵的轉(zhuǎn)速是有潛力可挖的。

從國外看,日本泵提高到700轉(zhuǎn)/分,瑞士泵達(dá)1000-1100轉(zhuǎn)/分。泵速提高后,對性能、壽命影響如何,各廠仍正在研究。

7.關(guān)于氣鎮(zhèn)性能問題:旋片泵在抽除可凝性氣體時(shí),常影響泵的各種性能和其壽命,故帶氣鎮(zhèn)為好。技術(shù)條件規(guī)定國產(chǎn)泵均帶氣鎮(zhèn)。但有關(guān)氣鎮(zhèn)各參數(shù),如摻氣是多大合適、它與水分抽除率之關(guān)系等問題至今尚未搞清楚。從國外看,摻氣量也不一致,西德開氣鎮(zhèn)的極限真空降低兩個(gè)數(shù)量級,英國泵則降低半個(gè)數(shù)量級,而國產(chǎn)泵一般習(xí)慣只降低一個(gè)數(shù)雖級,標(biāo)準(zhǔn)上暫未規(guī)定。

8.關(guān)于泵的冷卻問題:真空泵的冷卻有自冷、風(fēng)冷、水冷三種方法。一般小型泵用自冷、中大型泵用風(fēng)冷或水冷。風(fēng)冷、水冷要消耗功率和冷卻水。尤其水冷泵體積比較大且很重,在保證泵機(jī)械性能的前提下,生產(chǎn)廠應(yīng)盡可能避免用水冷才好。

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