選擇適當(dāng)材料、確保真空系統(tǒng)密封性和減少放氣源,是獲得并保持真空至為重要的事。而了解真空材料的性質(zhì)和特點則是選擇好材料的前提。
一、對真空材料的性能要求
1.氣密性好,不滲漏,不存在多孔性的滲漏源。
2.飽和蒸氣壓足夠低,不致影響系統(tǒng)真空度。
3.材料的吸氣盡量少,并且易于除去。
4.化學(xué)穩(wěn)定性好,不易被氧化和腐蝕。
5.溫度穩(wěn)定性好,即在工作溫度范圍內(nèi),其真空性能和機械性能不致變壞。
6.加工容易,經(jīng)濟合算。
二、材料分類
真空技術(shù)工作所用材料大致可分三類.
1.結(jié)構(gòu)材料:主要是各種金屬和玻璃。金屬材料包括低碳鋼、銅、鋁及其合金等。超高真空則用不銹鋼(出氣率低)。在易出氣材料或玻璃系統(tǒng)內(nèi)表面涂一層聚四氟乙烯(特氟隆Toflo),可減少氣體在內(nèi)壁表面的物理吸附、可烘烤至375 ℃,使表面氣體釋放,極限真空度可達2*10-10托。
2.絕球及密封材針:主要是陶瓷、橡膠、塑料、云母片之類。橡膠、塑料等材料記憶效應(yīng)(吸收氦氣等)較嚴(yán)重,使用時應(yīng)加注意。
3.輔助密封材桿。包括真空封脂、封蠟等。
除上述幾類材料外,銅、鋁或黃金、銀之類可作超高真空之密封墊卷,錮涂在鋁的表面可減少與凸緣表面粘著作用,彈性薄膜或波紋管用被磷銅或蒙耐爾(K-Monel)制成,可作機械泵一擴散泵之間連接減震或用于真空閥門?傊S著真空技術(shù)研究的進展,新工藝、新材料肯定將不斷出現(xiàn),這是應(yīng)隨時密切注意的。
三、“滲透”問題
氣體通過材料器壁滲透,這個問題在真空技術(shù)中是很重要的。因它對超高真空的獲得已具有了決定性意義,故目前已形成一個專門研究學(xué)科。
玻璃的滲氮性是眾所周知的,而金屬和陶瓷對某些特定氣體的滲漏已正為人們所重視。因此目前超高真空系統(tǒng)均用滲透率很低的材料-不銹鋼等來制做了。
四、結(jié)構(gòu)材料的放氣
在常溫下,真空環(huán)境中的材料也會放出氣體,與滲透系數(shù)相似,出氣速率也隨溫度呈指數(shù)性增長,所不同的是一端沒有氣源補充。它們的存在與系統(tǒng)大小不等地存在泄漏一樣,限制了系統(tǒng)極限真空度的提高。
五、吸氣劑(消氣劑)
在電子管或電真空器件工業(yè)生產(chǎn)方面,常利用某種具有較強吸氣能力的物質(zhì),它與殘余氣休作用,使真空度大為提高。這種物質(zhì)多為金屬材料,統(tǒng)稱為“吸氣劑”或“消氣劑”。使用消氣劑,可使排氣時間大大縮短,真空度大為提高,從而使自動排氣設(shè)備的使用成為可能。由于它能持續(xù)吸收電真空器件在工作過程中緩慢放出的氣體,因而能維持這些電真空器件工作真空度要求,對氧化物陰極、光電陰極及冷陰極電子器件延長壽命,有著特殊重要的作用。
消氣劑與氣體的相互作用主要是化學(xué)反應(yīng)、物理吸附和吸收。消氣劑的種類很多。在所有蒸散型消氣劑中,以鋇類消氣劑用的最多,而在涂敷型消氣劑中,則以格、欽、擔(dān)和飾社合金類較常用,它們又稱非蒸散型消氣劑。由于欽具有優(yōu)越的高溫吸氣性能和蒸散吸氣特性,目前已發(fā)展成為欽泵,應(yīng)用于無油類真空泵。
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