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羅茨真空泵的抽氣速率測(cè)試



羅茨真空泵抽氣速率的測(cè)定采用定壓法,在泵的進(jìn)口處直接連接試驗(yàn)罩,泵的出口與前級(jí)油封機(jī)械泵連接,在進(jìn)口與出口處均設(shè)有真空計(jì)測(cè)量壓力,流量計(jì)經(jīng)調(diào)節(jié)針閥與試驗(yàn)罩相通。在啟動(dòng)真空泵并達(dá)到穩(wěn)定工況后,方可進(jìn)行測(cè)量。從接近極限真空的適當(dāng)值開(kāi)始測(cè)定抽氣速率,一直測(cè)至泵的允許進(jìn)口壓力附近為止,每一個(gè)數(shù)量級(jí)中最少測(cè)四點(diǎn),其分布應(yīng)基本符合1, 2, 5, 7的比例,例如1xl0-2、2x10-2,  5x10-2和7xl0-2四點(diǎn),在測(cè)量過(guò)程中,每次調(diào)節(jié)針閥使其達(dá)到一定壓力后,至少經(jīng)過(guò)3min待真空計(jì)上壓力讀數(shù)平穩(wěn),才能記錄壓力數(shù)據(jù)。如果壓力有變化,則應(yīng)采用在測(cè)量過(guò)程中的壓力平均值。

試驗(yàn)罩的結(jié)構(gòu)尺寸在部頒標(biāo)準(zhǔn)(JB1875-73)中有詳細(xì)規(guī)定,其結(jié)構(gòu)如圖7-2所示,試驗(yàn)罩的內(nèi)徑D應(yīng)與泵的進(jìn)口直徑相等。

在測(cè)量抽氣速率的裝置中,使用的真空計(jì)應(yīng)為座式壓縮真空計(jì)和油U型真空計(jì),并經(jīng)精度10%以上的壓縮式真空計(jì)校準(zhǔn),真空計(jì)的取氣口平面應(yīng)與氣流方向平行。流量側(cè)量使用的流量計(jì),在測(cè)量范圍內(nèi)必須具有二級(jí)精度。

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