前級泵和后級泵有些差別,后級泵的泵腔比前級泵大,這是因為泵的抽速主要決定于后級泵的有效幾何容積。另外,前級泵和單級旋片泵一樣,隨時有油進入泵腔;而后級泵僅在開始工作時有少量的油,工作一段時問后,便沒有油進入泵腔了,這是因為后級沒有專門的油路。這樣做并不會影響后級泵的性能,因為抽氣時間一長,后級泵進氣口的壓強大大下降,而它的出口壓強也很小,進出口的壓強差不大,被壓縮氣體級縫隙返流的量很少,同時,在真空度較高的情況下,縫隙的流阻較大,雖然沒有油密封,但返流的氣體量也很少。相反,有如下好處:可以避免泵油把氣體和蒸氣帶進后級進氣口,從而大大地降低了殘余氣體的分壓強;同時,由于后級泵中油的輕餾分不斷地被前級泵抽走,殘余的油蒸氣分壓強也降低了,這就使泵的極限真空得到了提高。氣分壓強也降低了,這代使泵的極限真空得到了提高。