真空系統(tǒng)啟動時,要先用機械泵將系統(tǒng)抽至低真空,再接通擴散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正;亓骱笤賳佑蛿U散泵。關閉油擴散泵時.需先切斷加熱器電源,待油停止沸騰后再關冷凝水,再關閉擴散泵前后兩個活塞,接著將機械泵的抽氣日通大氣后才能停機械泵.通常在機械泵和油擴散泵之前安一冷阱,以免有機物、水汽等雜質進入機械泵,影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。
對玻璃真空系統(tǒng)的檢漏,使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強氣體在高頻電場中,發(fā)生感應放電時所產(chǎn)生的不同顏色,來大致估計真空度量級,以判斷系統(tǒng)是否漏氣。實際檢漏過程如下,啟動機械泵數(shù)分鐘后,系統(tǒng)的真空度可達1.333~13.33Pa。