站在節(jié)能減排的高度審視傳統(tǒng)的有油真空泵系統(tǒng)是每個真空業(yè)者當今必須正視的問題。傳統(tǒng)的無油概念僅僅是為了獲得清潔的、無碳氫化物污染的真空環(huán)境。今天的“無油”除滿足工藝要求的清潔的真空環(huán)境外,對外排氣還要保護環(huán)境,杜絕廢油廢氣的污染與排放。
傳統(tǒng)的有油真空系統(tǒng)(2X型旋片式真空泵),能源利用率普遍較低,其中尤以油增壓泵油擴散泵為甚,簡直就是“電老虎”,正是在此背景下,分子泵得以大行其道,在φ400 mm以下的區(qū)域內(nèi)大有取代傳統(tǒng)擴散泵之勢。同為φ250mm的泵,擴散泵功率比分子泵的大五倍,可見能源浪費之大。長此下去,有油真空系統(tǒng)的市場空間勢必越走越窄。
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