夏季中水環(huán)式真空泵真空度降低的原因
半導體工藝中干式真空泵的種類
油式真空泵是半導體行業(yè)中常用的真空泵種類,最主要的特點是真空度高,能滿足新型行業(yè)的特殊工藝要求,其中又以旋片式真空泵和往復式真空泵為主要代表。隨著時間的推移,社會的進步,它們在各種應用中的表現越來越不能使人們感到滿意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等,因此,干式真空泵應運而生。