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擴(kuò)散泵油的特性及返油

對擴(kuò)散泵油的要求

擴(kuò)散泵油的性質(zhì)對擴(kuò)散泵的抽氣性能影響特別大,因而對擴(kuò)散泵油的基本要求是:

1)泵油的分子量要大;

2)為了降低泵的極限壓力,要求泵油在常溫下得飽和蒸汽壓要低;

3)為了使泵能在較高的出口壓力下工作,要求泵油在沸騰溫度下得飽和蒸汽壓應(yīng)盡可能大;

4)泵油的熱穩(wěn)定性(高溫下不易分解)和抗氧化性能(與大氣接觸時不會因氧化改變泵油的性能)要好;凝固點(diǎn)和低溫黏度要低;

而且還要無毒、耐腐蝕、成本低。

泵油對極限壓力的影響

泵油的種類和成分對泵的極限壓力影響很大,在結(jié)構(gòu)相同的擴(kuò)散泵中,如果使用3號擴(kuò)散泵油,其極限壓力只能達(dá)到10-5帕;而改用

275號硅油,其極限壓力能達(dá)到10-7帕,極限壓力可降低兩個數(shù)量級。

真空系統(tǒng)中被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化,這就是泵油成分所帶來的影響。例如,油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)中不加特殊措施很

難獲得較清潔的真空。

泵油的飽和蒸氣壓

為了獲取高真空,希望泵油在常溫下有較低的飽和蒸氣壓。同時又要求泵在較高的出口壓力下工作,希望泵油在鍋爐溫度下有較高

的飽和蒸氣壓。因此,最適合擴(kuò)散泵工作的泵油其飽和蒸氣壓隨溫度變化的關(guān)系曲線的斜度要大。

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