分子真空泵(簡稱分子泵)是1913年是德國人蓋得(W.Gaede)首先發(fā)明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎。
雖然分子泵是一種機械泵,但它已經擺脫了那種靠容積變化來抽氣的容積泵原理,而是靠高速運動的剛體表面來攜帶氣體分子實現(xiàn)抽
氣的一種新型機械真空泵。通常把高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運動的現(xiàn)象成為分子牽引,或稱為氣體的外摩擦輸運現(xiàn)象
。因此,人們把蓋得發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。這種泵具有啟動時間短,抽重氣體比抽輕氣體快等一系列優(yōu)點。但由于它的密
封間隙小,容易引起機械故障以及加工精度要求高等,除特殊需要外,實際上很少應用,曾有些人做過不少改進,出現(xiàn)過幾種不同
類型的牽引分子泵,但因為抽速低沒有推廣應用,曾一度被結構簡單的擴散泵所代替。
德國人貝克(W.Becker)1956年發(fā)明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵。這種泵和牽引分子泵相比,在結構和原理方面并不
完全相同。渦輪分子泵是以高速旋動的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵的極限壓力可以達到10-9帕以下,對
油蒸汽等高分子量氣體的壓縮比很高,幾乎能達到測不出的程度。因而殘余氣體中油蒸汽的分壓力很低。由于軸承用的潤滑油僅在
泵的出口側存在,故泵在運轉過程中入口處檢查不出油的痕跡。因此,渦輪分子泵可以獲得清潔無油的超高真空。這種泵如果長期
不用,軸承處的油蒸汽會擴散到泵的入口側,降低泵所能達到的清潔程度。為了消除油蒸汽的污染,在工作時,須對泵的入口進行
烘烤除氣,烘烤溫度要嚴格控制,過高會使葉片變形。有的在停泵時,用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內,以消除油蒸汽返流造成
的污染。
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