近年來,已開發(fā)出從大氣壓到高真空,僅用一臺泵就能實現(xiàn)的新型真空泵。但一般來說,為了獲得高真空、超高真空及極高真空,還是串聯(lián)多臺真空泵構(gòu)成機組形式來完成抽氣任務(wù)的。因此,正確了解泵的工作原理、主要性能、結(jié)構(gòu)特點以及分類等,對于用戶選擇經(jīng)濟(jì)適用的真空泵是非常重要的。
真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理,基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體傳輸泵,它是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達(dá)到抽氣口的的真空泵。這種氣體傳輸泵含有容積泵和動量傳輸泵兩大類.
1容積真空泵
容積真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置。氣體排出前被壓縮,這種泵分為往復(fù)式和旋轉(zhuǎn)式兩種。
(1)往復(fù)式真空泵,利用泵腔內(nèi)活塞的往復(fù)運動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱它為活塞式真空泵。
(2)旋轉(zhuǎn)式真空泵,利用泵腔內(nèi)活塞的旋轉(zhuǎn)運動,將氣體吸入、壓縮并排出.屬于此類的泵種很多.
1)油封式機械泵,它是利用油類密封各種運動部件的間隙,減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故稱氣鎮(zhèn)式真空泵,按其結(jié)構(gòu)特點分為:旋片泵,定片泵,滑閥泵,余擺線泵以及多室旋片泵等。
2)干式真空泵.目前所謂的干式真空,一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作的真空泵;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和密封液體.排氣口與大氣相通,能夠連續(xù)向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵。按其工作原理分,也有干式容積真空泵,如多級羅茨泵、多級活塞泵、爪型泵、螺桿泵、渦旋泵等;此外還有動最傳輸式干式泵二如渦輪干式泵,離心干式泵等.這種泵的抽氣不再有油的污染了,是近期開發(fā)研制較多的泵種。
3)液環(huán)真空泵,帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,把液體(水或油類)拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子上的葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣.由于液環(huán)起到壓縮氣體的作用故又稱它為液體活塞真空泵。
4)羅茨真空泵,泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉或多葉形的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間均保持有一定的間隙。它屬于無內(nèi)壓縮式的真空泵.按用途又分為濕式羅茨泵,直排大氣式羅茨泵和機械增壓泵等類型。