超高真空機(jī)組工作在10-6~10-10Pa超高真空壓力范圍,除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經(jīng)受200~450℃高溫烘烤外,對(duì)機(jī)組的要求還有:
(1)主泵的極限真空要高.至少在10-7~10-8Pa以上;
(2)在超高真空的工作壓力范圍內(nèi)主泵具有一定的抽速;
(3)機(jī)組的主泵或主泵進(jìn)氣口以上部分能承受200-450℃的高溫烘烤。
(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力要足夠低。
(5)對(duì)被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵,要配備足夠大的輔助泵;
(6)機(jī)組主泵進(jìn)氣口以上的管道、閥門等部件,材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和采用金屬密封材料,以耐高溫烘烤。